半導體裝備股票龍頭有：
晶盛機電300316：半導體裝備龍頭
中微公司688012：半導體裝備龍頭
長電科技600584：半導體裝備龍頭
萬業(yè)企業(yè)600641：半導體裝備龍頭
北方華創(chuàng)002371：半導體裝備龍頭
芯源微688037：半導體裝備龍頭
拓荊科技688072：半導體裝備龍頭
至純科技603690：半導體裝備龍頭
半導體裝備概念股其他的還有：
機器人：近5日機器人股價上漲2.53%，總市值上漲了4.65億，當前市值為184.01億元。
雷賽智能：近5個交易日股價上漲2.92%，最高價為22.1元，總市值上漲了1.95億，當前市值為66.65億元。